Ⅰ tic246m在電路中起什麼作用
TIC246M是一顆晶閘管,耐壓600V,導通電流最大16A。
在電路中可以看做一個受控的電流開關。
Ⅱ 硅化物的集成電路中的金屬硅化物[2]
鈦硅化物TiSi2:鈦硅化物TiSi2因具有工藝簡單、高溫穩定性好等優點,被最早廣泛應用於0.25微米以上MOS技術。其工藝是首先採用諸如物理濺射等方法將Ti金屬沉積在晶片上,然後經過稍低溫度的第一次退火(600~700℃),得到高阻的中間相C49,然後再經過溫度稍高的第二次退火(800~900℃)使C49相轉變成最終需要的低阻C54相 。
對於鈦硅化物而言,最大的挑戰在TiSi2的線寬效應。即TiSi2電阻會隨著線寬或接觸面積的減小而增加。原因是當線寬變得過窄時,從C49相到C54相的相變過程會由原先的二維模式轉變成一維模式,這使得相變的溫度和時間將大大增加。而過高的退火溫度會使主要的擴散元素Si擴散加劇而造成漏電甚至短路的問題。因此隨著MOS尺寸的不斷變小,會出現TiSi2相變不充分而使接觸電阻增加的現象 。
鈷硅化物CoSi2:鈷硅化物作為鈦硅化物的替代品最先被應用於從0.18微米到90納米技術節點,其主要原因在於它在該尺寸條件下沒有出現線寬效應。另外,鈷硅化物形成過程中的退火溫度相比於鈦硅化物有所降低,有利於工藝熱預算的降低。同時由於橋通(bridge)造成的漏電和短路也得到改善 。
雖然在90納米及其以上尺寸,從高阻的 CoSi到低阻的CoSi2的成核過程還十分迅速,在CoSi2相變過程中沒有出現線寬效應。但當技術向前推進到45納米以下時,這種相變成核過程會受到極大的限制,因此線寬效應將會出現。另外,隨著有源區摻雜深度不斷變淺,鈷硅化物形成過程中對表面高摻雜硅的過度消耗也變得不能滿足先進製程的要求。MOS進入45納米以後,由於短溝道效應(short channel effect)的影響對硅化物過程中熱預算提出了更高的要求。CoSi2的第二次退火溫度通常還在700℃以上,因此必須尋找更具熱預算優勢的替代品 。
鎳硅化物NiSi:對於45納米及其以下技術節點的半導體製程,鎳硅化物(NiSi)正成為接觸應用上的選擇材料。相對於之前的鈦鈷硅化物而言, 鎳硅化物具有一系列獨特的優勢。鎳硅化物仍然沿用之前硅化物類似的兩步退火工藝,但是退火溫度有了明顯降低(<600oC), 這樣就大大減少對器件已形成的超淺結的破壞。從擴散動力學的角度來說,較短的退火時間可以有效地抑制離子擴散。因此,尖峰退火(spike anneal)越來越被用於鎳硅化物的第一次退火過程。該退火只有升降溫過程而沒有保溫過程,因此能大大限制已摻雜離子在硅化物形成過程中的擴散 。
Ⅲ 數字電源的組成結構
數字電源的關鍵數字器件有數字電源驅動器、數字電源PWM控制器和數字信號處理器等。 目前,數字控制電源驅動器晶元中比較典型的應用有美國德州儀器公司(TI)公司的UCD7100/7201晶元。二者的區別是:UCD7100為單端輸出,UCD7201為雙端輸出,額定輸出電流均為±4A,可驅動MOSFET開關功率管,均可適配UCD9110/9501型數字控制器。主控制器可監控其輸出電流,快速檢測過流故障並迅速關斷電源,檢測周期僅為25ns.
現以UCD7100為例,該晶元主要包括3.3V電壓調整器及基準電壓源、觸發器、施密特比較器、欠壓關斷電路、控制門、True Drive驅動器等部分組成。「True Drive」(真驅動)為TI公司的專有技術,它是由並聯雙極性晶體管和MOSFET管組成上拉/下拉電路構成的混合輸出級。其優點是驅動能力強,在低電壓時也能正常輸出,並能在極低輸出阻抗下控制外部功率MOSFET的過壓、欠壓保護,功率MOSFET不需要接起保護作用的肖特基鉗位二極體。UCD7100能在幾百FIS的時間內給MOSFET的柵極提供一個高峰值電流,快速開啟驅動器。UCD7100的高阻抗數字輸入端(IN)能接收3.3V邏輯電平、最高開關頻率達2MHz的信號。利用施密特比較器能將內部電路與外部噪音隔離。若控制器的PWM輸出停在高電平上並發生過電流故障,電流檢測電路就關斷驅動器的輸出,系統可進入重試模式。通過DSP或MCU內部的看門狗電路,能重新啟動片。UCD7100內部的3.3V/10mA電壓調整器可作為數字控制器的電源。 美國德州儀器公司(TI)公司的UCD8220/8620是受DSP或MCU數字控制的雙端推挽式PWM控制器。二者區別是UCD8220可利用48V低壓啟動,UCD8620內部增加了110V高壓啟動電路。
該晶元主要包括3.3V電壓調整器及基準電壓源、脈寬調制器(PWM)、驅動邏輯、推挽式驅動器、欠壓關斷電路、限流電路、電流檢測電路。UCD8220/8620可運行在峰值電流模式或電壓模式,不僅能對極限電流進行編程,還輸出一個能受主控制器監控的極限電流數字標志。 目前,專為數字電源系統配套的數字信號處理器有美國德州儀器公司(TI)公司的UCD9501、TMS320F2808和TMS320F2806等。它們內部主要包含100MHz的32位CPU、時鍾振盪器、3個32位定時器、看門狗電路、內部/外部中斷控制器、SCI匯流排、SPI匯流排、CAN匯流排及I2C匯流排介面、12路PWM信號輸出、系統控制器、16通道12位ADC、16K×16Flash、6K×16SARAM、1K×16ROM.它採用標準的3.3V輸入/輸出介面,與UCD8K系列完全兼容,利用Power PADTM HTSSOP和QFN軟體包可進行編程。